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排氣管路

944   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:39
本實用新型提供一種排氣管路,用于化學氣相淀積設備,包括:歧管;第一管路,一端與所述歧管相連;以及第二管路,一端與所述歧管相連;其中,所述第二管路的一端具有一延伸部延伸至所述歧管內部,所述延伸部的末端接近所述歧管的出氣口。所述第一管路內的氣體與所述第二管路內的氣體方向一致,而避免由于兩股氣體對沖而導致的氣體回流現象,保證TiN薄膜的質量,且所述第二管路內的氣體不會直接沖擊壓力表,壓力表可準確測量出反應腔內的壓力,并延長壓力表的使用壽命。
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聲明：
“排氣管路” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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化學分析
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