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溫控噴淋頭

896   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:39
一種用于化學氣相沉積(CVD)腔室的溫控噴淋頭增強熱耗散,以實現用電加熱器來進行準確的溫度控制,所述噴淋頭包括:桿,其具有對流冷卻流體通路;背板,其熱耦合到所述桿;加熱器,其物理附接到所述背板;面板,其熱耦合到所述背板;以及溫度傳感器,其用于測量所述面板的溫度。熱量通過穿過噴淋頭桿和流體通路的傳導以及從背板的輻射而耗散。溫度控制系統包含位于CVD腔室中的一個或一個以上溫控噴淋頭,其具有串聯連接到熱交換器的流體通路。
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