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凝固坩堝旋轉式電子束熔煉提純多晶硅的方法及設備

1095   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:32:44
本發明屬于用物理冶金技術提純技術領域，特別涉及一種電子束熔煉提純多晶硅的方法及設備，在真空下電子束熔煉高磷硅料得到低磷硅熔體，將低磷硅熔體倒入凝固坩堝中凝固；重復上述裝料、熔煉提純和傾倒的工序，直到凝固坩堝裝滿；將另一個空的凝固坩堝旋轉至硅液倒料口下方，重復上述裝料、熔煉提純和傾倒的工序，直到該凝固坩堝裝滿；重復上述裝滿凝固坩堝和旋轉另一個空的凝固坩堝至硅液倒料口下方的工序，直至所有凝固坩堝裝滿，待所有凝固坩堝中低磷硅熔體凝固成鑄錠后取出鑄錠。該發明方法減少了多次熔煉的整體提純時間，降低了抽真空和電子槍預熱的次數，提高了生產效率，本發明的設備，結構緊湊，易于操作，安全可控，生產效率高。
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“凝固坩堝旋轉式電子束熔煉提純多晶硅的方法及設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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