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改進型風載荷壓力傳感器

786   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 09:02:34
一種改進型風載荷壓力傳感器包含傳感器殼體、充油敏感體和信號調理電路,充油敏感體由呈凹槽的敏感體殼體、硅集成敏感芯片和密封固定于凹槽口的彈性隔離膜組成,硅集成敏感芯片背壓面環周通過固支環密封固定于凹槽底,硅集成敏感芯片背壓面通過背壓導氣管與外界氣壓連通,硅集成敏感芯片受壓面具有惠斯通電橋,惠斯通電橋上應變電阻通過內引線和引線柱引入到信號調理電路后輸出,硅集成敏感芯片非受壓面設有感溫傳感器、加熱電阻及根據感溫傳感器控制加熱電阻的恒溫控制電路,彈性隔離膜、凹槽內環面和硅集成敏感芯片受壓面之間填充有硅油,本發明可以控制充油敏感體溫度,消除充油微壓傳感器受環境溫度影響而失效問題,實現風載荷的高精度測量。
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