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氮化硅-聚酰亞胺復合介質的MIM電容器及制作方法

906   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:02:32
本發明公開了一種氮化硅?聚酰亞胺復合介質的MIM電容器及其制作方法，通過在電容器的上、下極板之間設置氮化硅?聚酰亞胺復合介質結構，采用第一氮化硅層定義電容器面積，第二氮化硅層定義電容器上下極板間距，同時采用聚酰亞胺填覆凹槽，一方面提高了抵御水汽侵蝕能力，解決了電容器在溫濕度偏壓(THB)/偏壓高加速應力測試(BHAST)等可靠性測試中失效的問題，另一方面降低了高度差導致的第二金屬跨區斷裂風險，增強了上極板導電能力和耐擊穿能力，提高了整體性能，可運用于所有HBT?MMIC上。
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“氮化硅-聚酰亞胺復合介質的MIM電容器及制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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