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柔性多維力覺壓力傳感器

946   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:41
本發明公開了一種柔性多維力覺壓力傳感器，包括柔性襯底；置于柔性襯底上的電極；電極之間的電介質層、分隔層、電極引線、流體通道、溢流水庫以及封裝層。柔性襯底包括上層柔性襯底和下層柔性襯底，電極分為上下電極和內外側電極，在上層柔性襯底上涂敷上層電極和內側電極，在下層柔性襯底上涂敷下層電極和外側電極，內側電極和上層電極采用柔性分隔層封裝，以防止上下層電極或內外側電極直接接觸而使傳感器失效。電極層中粘附有延伸到電極層外部的引線，相鄰傳感器單元間設有流體通道來連接溢流水庫，整個傳感器最后采用封裝層封裝。本發明提出的柔性多維力覺壓力傳感器陣列具有靈敏度高，重復性好，用途廣泛等優點，可以實現對載荷的大小及方向檢測。
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聲明：
“柔性多維力覺壓力傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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