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可同時去除集成電路重布線層和凸塊的組合物及其制備和使用方法

1015   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:22
本發明提供了一種可同時去除RDL和bump的組合物，其配制方便，在保持較高去除速度的同時對式樣無損傷，可有效保證失效分析的成功率；本發明還提供了該組合物的制備方法及使用該組合物處理含有RDL和bump的產品的方法。該組合物其各原料組分及重量分別為：FeCl3：1份~4份；發煙硝酸：1份~5份；去離子水：1份~8份；按照上述比例分別稱取適量的FeCl3固體、發煙硝酸和去離子水，將去離子水加入到裝有FeCl3固體的容器中，充分攪拌至FeCl3完全溶解，再將發煙硝酸緩慢加入到FeCl3溶液中，充分攪拌均勻；將產品放入配置好的組合物溶液中，計時至反應結束后取出，清洗干燥。
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