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柔性基底薄膜梯度變形的力學性能原位測試輔助裝置

1089   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:18
本發明涉及材料測試技術，尤其涉及種柔性基底薄膜梯度變形的力學性能原位測試輔助裝置，包括有夾持機構、梯度載荷加載機構以及精密檢測單元。本發明通過曲柄滑塊機構，將滑塊直線移動轉化為薄膜試件加載梯度載荷，分布梯度的應力應變，原子力顯微鏡直接觀測不同應力應變下薄膜的微觀結構變化，從而得到樣品的宏觀力學性能。本發明可復現薄膜材料受梯度載荷的工況，可原位觀測梯度受力下，薄膜不同形變與基底結合力，膜基結合能，在同一測試環境下，比對不同形變，找出膜基結合臨界狀態，及失效時薄膜形貌變化，測量整個過程中的形變學、變形機制和力學性能，是研究新型薄膜材料在此工況下的彈性模量、內應力和結合能有力試驗工具。
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“柔性基底薄膜梯度變形的力學性能原位測試輔助裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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