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確定器件故障點的測試方法及裝置、存儲介質

1212   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:14
本發明涉及芯片測試領域，提供一種確定器件故障點的測試方法及裝置。所述確定器件故障點的測試方法包括：按時間順序對器件的介質層施加恒定電壓和脈沖電壓；監測所述脈沖電壓的變化情況，根據所述脈沖電壓的變化情況確定所述器件的介質層是否被擊穿；在確定所述器件的介質層被擊穿這一時刻停止施加所述脈沖電壓，根據所述介質層的擊穿情況確定所述器件最早發生故障的故障點。本發明在器件介質層被擊穿的最早時期，能夠立即感知到電壓的變化，并立即停止施加電壓。此時器件介質層擊穿損壞不嚴重，可根據損壞情況精確定位器件最早發生故障的故障點的位置，從而分析出導致失效的具體原因，促進設計改進和制造工藝改進。
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