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測試結構及其制作方法

851   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:11
本發明提供一種測試結構及其制作方法，該方法包括以下步驟：1）提供一待測試樣品，所述待測試樣品表面形成有分立設置的至少一個第一金屬墊；所述第一金屬墊下方形成有電路結構；2）在所述待測試樣品表面的空閑區域形成分立設置的至少一個與所述第一金屬墊連接的金屬墊組件，得到測試結構。本發明在測試樣品中原始金屬墊的基礎上形成額外的金屬墊組件，其中金屬墊組件形成于測試樣品的空閑區域，不會影響測試樣品；在失效分析階段可以利用金屬墊組件進行引線鍵合接入電信號，避免了重復鍵合引起器件破壞或引起第一金屬墊下方的器件開裂，有利于提高失效分析效率；并且既可以采用金線鍵合，也可以采用鋁線鍵合來降低成本。
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聲明：
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