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失效芯片的剝層方法

1084   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:36
本發明公開了一種失效芯片的剝層方法，其至少包括以下步驟：獲取待分析的失效芯片，確認失效芯片的目標區域；預處理失效芯片，以露出目標區域的金屬布線；移除金屬布線，并清洗失效芯片；以及研磨目標區域的介質層，以獲得剝層樣品；其中，移除金屬布線的步驟包括：在金屬布線上粘貼黏膜；以及待黏膜與金屬布線粘合后，去除黏膜，以移除金屬布線。本發明提供了一種失效芯片的剝層方法，可提升芯片物理剝層的均勻性。
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聲明：
“失效芯片的剝層方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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