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用于半導體激光器腔面失效分析的綜合測試系統

945   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明提出一種用于半導體激光器腔面失效分析的綜合測試系統，能夠使半導體激光器腔面失效分析更為準確、可靠，具有產業實際意義。該綜合測試系統特別包括分光組件、溫度控制模塊和多種光特性測試模塊，溫度控制模塊用于調節待測半導體激光器的溫度，所述多種光特性測試模塊包括近場分布測試模塊、遠場分布測試模塊、功率測試模塊和光譜成像模塊，分光組件將待測半導體激光器輸出的光分出多路用以設置不同的光特性測試模塊；計算機接收處理所述溫度測試模塊和多種光特性測試模塊輸出的測試數據，并與溫度測試模塊、溫度控制模塊和多種光特性測試模塊連接。
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失效分析
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