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超強度微針陣列制造方法

1102   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:58
本發明公開了一種超強度微針陣列制造方法，包括以下操作步驟：S1：將PMMA微針陣列作為原始模具，利用移動X射線曝光并制作PMMA微針；S2：將S1制作得到的PMMA微針通過PDMS轉模形成二次模具，在PDMS的基礎上涂一層導電材料，并且將鉻/銅在PMMA微針表面進行濺射，從而制作PMMA微針陣列鉻/銅種子層；S3:在S2的基礎上進行鎳/金剛石復合電鍍；并且在鎳/金剛石復合電鍍的過程中加入坑抑制劑。通過上述方式，本發明所設計的鎳/金剛石微針陣列具有無損傷，高強度，易操作的優勢，金剛石針尖有助于使量子納米傳感變得更具成本效益和實用性，也可用于進行諸如電磁場、溫度或應力的高靈敏度納米級測量。國內這種超強度的微針陣列尚有欠缺，發展前景廣闊。
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