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激光晶體等離子體輔助刻蝕加工PaE方法

846   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:50
本發明涉及一種激光晶體等離子體輔助刻蝕加工PaE方法，用于加工倍半氧化物激光晶體表面，包括下列步驟：對倍半氧化物激光晶體毛坯材料進行形貌測量和損傷層厚度測量，以確定材料表面需要去除的深度；根據去除深度，對倍半氧化物激光晶體毛坯材料進行等離子體表面處理，在倍半氧化物中引入H離子，把倍半氧化物轉變為氫氧化物；利用無機酸對晶體表面刻蝕加工；對被加工表面進行形貌測試和損傷厚度測試，檢測是否達到預期量，并決定是否繼續進行表面處理及刻蝕加工，直至被加工表面達到預期加工目標。本發明可以高效、無損傷、高精度地加工的激光晶體元件超光滑表面。
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“激光晶體等離子體輔助刻蝕加工PaE方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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