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基于數字全息的石英振梁加速度計擺片的三維形貌檢測方法

1177   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:16
本發明公開了一種基于數字全息的石英振梁加速度計擺片的三維形貌檢測方法。該發明采用像面數字全息技術，獲取擺片表面的全息圖，利用參考全息圖補償高階像差，對再現相位圖進行解包裹運算，進而獲得擺片表面的三維形貌。同時對撓性支撐結構采用雙波長數字全息記錄方法，分段測量撓性支撐結構的三維形貌，通過計算系統景深及軸向成像范圍，多步再現，數字擴展景深，最后對各段測量結果曲面擬合，完成撓性支撐結構的三維重構。本發明因數據處理過程完全數字化，具有檢測速度快、測量精度高、無損傷、三維面測量等優點，適用于多種加速度計擺片表面三維形貌檢測，本發明可用于加速度計擺片的質量檢測等。
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“基于數字全息的石英振梁加速度計擺片的三維形貌檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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