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改進型軟研磨墊

816   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:05
本實用新型提供了一種改進型軟研磨墊,涉及化學機械研磨裝置?，F有的軟研磨墊在粘貼到研磨平臺上時,會在粘貼層出現大量氣泡,較大的氣泡會被研磨頭刮破,從而導致芯片劃傷。本實用新型的改進型軟研磨墊,其表面具有大小相等、均勻分布的凸起的方格壓紋,相鄰方格壓紋之間存在一定的間距,其中,所述的軟研磨墊上還開設有數個孔洞,且每兩個孔洞之間間隔1～200個方格壓紋。采用本實用新型的改進型軟研磨墊,可防止更換研磨墊時在粘貼層出現大量的氣泡,從而避免芯片劃傷、芯片破裂等問題的發生,此外,通過在軟研磨墊中心位置開設窗口,還可實現某些制程終點偵測技術的應用。
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