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具有薄膜位置控制的拋光頭

998   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:56:51
一種用于化學機械拋光的承載頭,包括外殼,所述外殼用于附接至驅動軸;薄膜組件,所述薄膜組件在外殼下方,其中介于外殼及薄膜組件之間的空間界定可加壓腔室;以及傳感器,所述傳感器在外殼中,配置成測量從傳感器至薄膜組件的距離。
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