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氣體擴散器清洗工藝及清洗輔助設備

975   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:14:39
本發明公開了一種氣體擴散器清洗工藝及清洗輔助設備，涉及化學氣相沉積裝置清洗技術領域。本發明的一種氣體擴散器清洗工藝及清洗輔助設備，包括一次剝離→二次剝離→研磨→噴砂→化學拋光→OVEN烘干→出庫檢查→包裝；未剝離干凈的氣體擴散器進行二次剝離，所述二次剝離包括濕式噴砂→高壓水洗，通過采用濕式噴砂去除局部殘留，減少藥液浸泡，避免孔徑擴張，以保證氣體擴散器孔徑擴張量
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