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帶溫度傳感器的多晶硅納米膜壓力傳感器及其制作方法

1024   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:14:37
本發明提供一種在保證高靈敏度的同時獲得低溫度系數、可同時實現壓力和溫度測量的帶溫度傳感器的多晶硅納米膜壓力傳感器及其制作方法。它是由單晶硅硅杯、絕緣層、多晶硅納米膜壓敏電阻和薄膜電阻組成的,單晶硅硅杯連接絕緣層,絕緣層連接多晶硅納米膜壓敏電阻和薄膜電阻。單晶硅硅杯包括感壓膜和周邊固支結構,感壓膜位于單晶硅硅杯上部,周邊固支結構位于單晶硅硅杯兩邊。由單晶硅通過腐蝕制作單晶硅硅杯,利用化學氣象淀積法在單晶硅硅杯的上部淀積一層二氧化硅或氮化硅作為絕緣層,將壓力測量單元和溫度測量單元集成在一個芯片上,能夠同時實現壓力和溫度的測量,減小芯片面積,降低成本。
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