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高效和高質量的微尺度金屬電沉積方法

801   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:08
一種高效和高質量的微尺度金屬電沉積方法，是為了解決基于電化學沉積的金屬微構件拾取過程中難以實現高效和高質量的微尺度金屬電沉積問題。首先，通過受力分析，計算出能夠實現基于電化學的金屬微構件的可靠拾取所需要沉積的微尺度金屬的最小高度；然后，利用COMSOL仿真分析微尺度金屬電沉積的影響因素，得出高效、高質量的電沉積參數范圍；其次，基于反向傳播神經網絡(BP)，建立影響因素與微尺度金屬電沉積速率之間的關系；最后，以確定的電沉積速率為目標值，采用遺傳算法優化了微尺度電沉積的工藝參數，并通過實驗驗證，實現高效率和高質量的沉積。本發明適用于微尺度金屬電沉積。
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