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芯片層疊塑料封裝的MEMS慣性器件的開封方法

1070   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:31:10
本發明公開了一種能夠暴露器件中加速度計MEMS、陀螺儀MEMS及ASIC芯片的芯片層疊塑料封裝的MEMS慣性器件的開封方法。該開封方法包括如下獲得器件的初步內部結構信息、獲得空腔位置及芯片的詳細分布情況信息，并根據詳細分布情況信息，對于ASIC芯片在上層且加速度計MEMS及陀螺儀MEMS在下一層以及ASIC芯片在下層且加速度計MEMS及陀螺儀MEMS在上層的疊層結構的MEMS慣性器件分別進行化學腐蝕處理后檢查分析，可以將加速度計MEMS、陀螺儀MEMS及共用的ASIC芯片等分別暴露出來，并且可以保證封裝空腔內的器件結構完好無損，滿足芯片層疊塑料封裝的MEMS慣性器件的內部目檢的需求。
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“芯片層疊塑料封裝的MEMS慣性器件的開封方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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