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基于微納加工工藝的多參數水質監測傳感器

739   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:48
本實用新型屬于水質監測傳感器技術領域，具體涉及一種基于微納加工工藝的多參數水質監測傳感器，包括傳感器本體和芯片，所述傳感器本體內設置有芯片，所述芯片包括PH電極、溶解氧電極、電導率電極和溫度電極，所述PH電極包括通用正極和PH電極負極，所述溶解氧電極包括通用正極和溶解氧負極。通過采用微納加工工藝制備，布局于硅基片上的各測試電極結構緊湊，體積小巧，集成程度高，制備簡單，便于安裝，并且各監測參數使用的電極材料均具有較強的熱穩定性和化學穩定性，對傳感器的后期測試穩定性有較強保障作用。
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“基于微納加工工藝的多參數水質監測傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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