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化學機械式研磨裝置的調節器

1128   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:01:15
本實用新型涉及化學機械式研磨裝置的調節器，化學機械式研磨裝置的調節器包括：旋轉部；加壓部，其配備于旋轉部的上部，選擇性地向旋轉部施加軸向加壓力；測量部，其配備于加壓部與旋轉部之間，在將加壓部施加的加壓力傳遞給旋轉部的同時測量加壓力；調節盤，其結合于旋轉部的下部，以被加壓力加壓的狀態，在借助于旋轉部而旋轉的同時對研磨墊進行改質。
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“化學機械式研磨裝置的調節器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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