合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 化學氣相淀積反應腔中漏率的監控方法

化學氣相淀積反應腔中漏率的監控方法

824   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:47
本發明涉及一種化學氣相淀積反應腔中漏率的監控方法,將自動測漏步驟加入到化學氣相淀積跑片過程的氫氟酸清洗步驟中。采用該方法進行化學氣相淀積反應腔中漏率的監測,可以做到實時監測,減少在機臺異常情況下制造產品的狀況發生,一旦有問題可以報警并及時解決;并且將漏率監測植入到正常的產品制造流程之中,對機臺的可服務時間沒有影響;同時,采用此方法,在機臺做完漏率監測步驟之后可以直接執行后續的開啟等離子體等步驟,可以避免手動測漏,機臺反應腔降溫而死機。
登錄解鎖全文
聲明：
“化學氣相淀積反應腔中漏率的監控方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：銅及銅合金薄壁零件的化學鈍化工藝方法
下一個：溫度標簽的電化學血糖試紙、制備工藝及使用方法

與 “化學氣相淀積反應腔中漏率的監控方法” 相關技術

? 礦石物料回收后對混合精礦中銦錫的選礦方法
? 從搖床尾礦中回收選礦技術礦方法
? 鋰渣綜合回收鉭鈮錫的方法
? 硫氧混合型金礦的選別方法
? 提升高磷銅合金帶材導電率的方法
? 用于消除銅合金薄帶殘余應力的脈沖磁場處理方法
? 銅及銅合金帶材橫剪覆膜裝置
? 銅及銅合金半連續恒溫鑄造控制裝置
? 高強度銅合金帶材及其生產工藝
? 高溫鋅合金熔煉用真空感應爐

相關化學分析設備推薦

電纜拉力試驗機
20KN伺服式材料拉力機
雙螺母組合件橫向振動試驗機
原子力顯微鏡
TC-601B型汽油動力土壤采樣器
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?礦石物料回收后對混合精礦中銦錫的選礦方法
?從搖床尾礦中回收選礦技術礦方法
?鋰渣綜合回收鉭鈮錫的方法
?硫氧混合型金礦的選別方法
?提升高磷銅合金帶材導電率的方法
?用于消除銅合金薄帶殘余應力的脈沖磁場處理方法
?銅及銅合金帶材橫剪覆膜裝置
?銅及銅合金半連續恒溫鑄造控制裝置
?高強度銅合金帶材及其生產工藝
?高溫鋅合金熔煉用真空感應爐

報名參會
更多+

2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
2025年08月05日 ~ 07日
2025鉛鋅產業市場研討會
2025鉛鋅產業市場研討會
2025年08月07日 ~ 09日
第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
2025年08月08日 ~ 10日
2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
2025年08月10日 ~ 12日
第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
2025年08月14日 ~ 16日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:92
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX