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金屬有機化學氣相沉淀設備

936   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:46
本實用新型公開了一種金屬有機化學氣相沉淀設備，包括反應箱及噴淋頭，反應箱上端設置有噴淋頭；反應箱內設置有反應腔，反應腔底端設置有反應平臺，反應平臺上端設置有反光層；噴淋頭包括上蓋及孔板，孔板上均布有多個向反應腔內輸送氣態原材料的小孔，上蓋頂部設置有多個與小孔對應的窗口，上蓋上設置有多個激光發生與接收裝置，激光發生與接收裝置上設置有蜂鳴器，蜂鳴器與激光發生與接收裝置電連接；反應箱底部設置有電機，電機上端與轉軸連接，轉軸上端設置有單臂旋轉桿，單臂旋轉桿上端設置有毛刷。本新型結構設計合理，能實時檢測噴淋頭中小孔的通堵狀況，及時快捷方便地清理噴淋頭，節省人力成本，提高工作效率。
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聲明：
“金屬有機化學氣相沉淀設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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