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凹槽填充結構的化學機械研磨負載監控方法

997   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:24
本發明公開了一種凹槽填充結構的化學機械研磨負載監控方法，包括：步驟一、在晶圓上刻蝕形成凹槽，測量凹槽的不同深度處的關鍵尺寸并得到凹槽的深度和關鍵尺寸的關系；步驟二、在凹槽中填充第一膜層；步驟三、進行化學機械研磨將凹槽外的第一膜層去除并形成由填充于各凹槽中的第一膜層組成凹槽填充結構；步驟四、測量凹槽填充結構的關鍵尺寸并結合凹槽的深度和關鍵尺寸的關系得到凹槽填充結構的高度并得到對應的化學機械研磨負載。本發明能實現快速無損檢測凹槽填充結構的化學機械研磨負載，且能實現計算自動化，能提高檢測效率和降低成本。
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聲明：
“凹槽填充結構的化學機械研磨負載監控方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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