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卷到卷高效連續化學機械拋光機

1020   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:23
本發明公開一種卷到卷高效連續化學機械拋光機，包括六個拋光輥裝置，六個拋光輥裝置前后分別設置有第一水平調速檢測裝置和第二水平調速檢測裝置，所述第一水平調速檢測裝置外側設置有放卷裝置，所述第二水平調速檢測裝置外側設置有收卷裝置；所述第二水平調速檢測裝置與所述拋光輥裝置之間設置有清洗干燥裝置；所述拋光輥裝置上安裝有拋光輥，所述拋光輥一側設置有噴淋裝置，所述拋光輥裝置底部設置有廢液收集箱。本發明提供的卷到卷高效連續化學機械拋光機，用于超薄柔性顯示襯底的Roll?to?Roll高效生產，可實現與柔性顯示器的制造形成無縫對接，提高了生產效率。
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聲明：
“卷到卷高效連續化學機械拋光機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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