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基于化學腐蝕的光學玻璃亞表面損傷深度測量方法

1235   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:47:30
本發明公開了基于化學腐蝕的光學玻璃亞表面損傷深度測量方法，該方法首先將光學玻璃放入腐蝕性液體中腐蝕一個時間段后，取出超聲清洗烘干后，采用激光共聚焦顯微鏡檢測腐蝕表面的表面粗糙度和單位面積內的表面積，分別繪制表面粗糙度和單位面積表面積隨腐蝕時間變化的曲線；將表面粗糙度變化曲線中表面粗糙度最大值作為光學玻璃亞表面裂紋深度；將單位面積內表面積變化曲線趨于穩定的時刻作為腐蝕到亞表面損傷層整體深度的時間，利用該時間腐蝕相同試樣表面，測量腐蝕臺階高度作為亞表面損傷層整體深度，最終得到殘余應力層深度。本發明利用激光共聚焦技術檢測單位面積內表面積和表面粗糙度隨腐蝕時間變化的曲線，一次腐蝕循環即可測得光學玻璃亞表面的裂紋層深度、損傷層整體深度和殘余應力層深度，提高檢測效率。
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“基于化學腐蝕的光學玻璃亞表面損傷深度測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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