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一種用于常壓多氣體漏率測試的質譜分析檢測裝置及方法

890   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:32:52
本發明提供了一種用于常壓多氣體漏率測試的質譜分析檢測裝置及方法，包括：氣體檢測室與真空系統連接；氣體檢測室與氣體分析及校準系統連接；氣體檢測室與循環氣體取樣系統連接；真空計與氣體檢測室連接；氣體檢測室用于氣體檢測與分析；真空系統用于氣體檢測室抽真空，真空系統抽速滿足氣體檢測室工作真空壓力要求；氣體分析及校準系統用于漏率檢測以及質譜分析儀的標定；循環氣體取樣系統將密閉檢漏容器內的氣體進行循環并引入氣體檢測室；真空計用于對氣體檢測室進行真空測量。本發明的常壓多氣體漏率測試的質譜分析方法及檢測裝置能夠快速、精確、可靠的對航天器的整體密封性能進行高精度、快速漏率測試。
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聲明：
“一種用于常壓多氣體漏率測試的質譜分析檢測裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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