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一種基板檢測系統及檢測方法

1005   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 06:32:22
本發明公開了一種基板檢測系統及檢測方法,包括:檢測機構;轉盤機構,包括轉盤和定位基板的定位工裝,定位工裝數量有多個且沿著轉盤的周向分布在轉盤上;輸送機構,被配置成將待檢測的基板輸向轉盤機構以及接收檢測后合格的基板,并將其輸離轉盤機構;搬運機構,包括將基板自輸送機構移至轉盤機構上的上料搬運機構、將基板自轉盤機構移至輸送機構的下料搬運機構、以及位于上料搬運機構和下料搬運機構之間的復測切換機構,復測切換機構可帶動基板在上料搬運機構和下料搬運機構間往返。本發明能夠實現基板的自動搬運、檢測、復測,減少了人工勞動,有效提高了檢測效率。
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