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一種基板檢測系統及檢測方法

1005   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:32:22
本發明公開了一種基板檢測系統及檢測方法，包括：檢測機構；轉盤機構，包括轉盤和定位基板的定位工裝，定位工裝數量有多個且沿著轉盤的周向分布在轉盤上；輸送機構，被配置成將待檢測的基板輸向轉盤機構以及接收檢測后合格的基板，并將其輸離轉盤機構；搬運機構，包括將基板自輸送機構移至轉盤機構上的上料搬運機構、將基板自轉盤機構移至輸送機構的下料搬運機構、以及位于上料搬運機構和下料搬運機構之間的復測切換機構，復測切換機構可帶動基板在上料搬運機構和下料搬運機構間往返。本發明能夠實現基板的自動搬運、檢測、復測，減少了人工勞動，有效提高了檢測效率。
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聲明：
“一種基板檢測系統及檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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