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厚度方向激勵剪切模式的聲學諧振器

1012   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 23:40:21
本實用新型涉及一種厚度方向激勵剪切模式的聲學諧振器，包括：聲學鏡，包括至少一第一聲反射層和至少一第二聲反射層，各所述第一聲反射層的聲阻抗小于各所述第二聲反射層的聲阻抗；底電極層，位于所述聲學鏡上；壓電層，設于所述底電極層上，所述壓電層包括單晶材料的鈮酸鋰和/或單晶材料的鉭酸鋰；電極單元，設于所述壓電層上；橫向反射器，設于所述壓電層上，所述橫向反射器用于對聲波進行橫向反射；其中，所述底電極層和電極單元用于形成電場。本實用新型可以在3GHz以上的頻率下具有高機電耦合系數和高Q值。
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