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光柵結構的鈮酸鋰-金-鈮酸鋰表面等離子激元溫度傳感裝置

804   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:43:47
本發明公開了一種光柵結構的鈮酸鋰-金-鈮酸鋰表面等離子激元溫度傳感裝置，其特征是，包括順序疊接的底層玻璃層、第一鈮酸鋰層、金層和第二鈮酸鋰層，第一鈮酸鋰層、金層和第二鈮酸鋰層形成鈮酸鋰-金-鈮酸鋰介質波導結構；所述的鈮酸鋰-金-鈮酸鋰為對稱的鈮酸鋰介質波導結構；所述鈮酸鋰介質波導結構的中間層金層為周期光柵結構。這種等離子激元溫度傳感裝置將亞波長尺度的表面等離子技術應用在溫度傳感領域提高了器件的適應性和靈敏度，彌補了微機電系統應用中溫度傳感器精度低、穩定性差、反應時間長的缺陷，特別是具有的納米級尺寸可以為光電集成的發展提供關鍵器件。
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加工技術
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