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硅片切割液及其制備方法

770   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:25:16
本發明屬于光電材料新能源技術領域，涉及一種硅片切割液及其制備方法。為了克服現有硅片切割液成本高昂，且對碳化硅微粉的分散和再分散能力較差的缺點，提供一種硅片切割液，包含76～80Wt％的二乙二醇，15～17Wt％的聚乙二醇、2～3.5Wt％的丙三醇、0.5～1.5Wt％的脂肪醇聚氧乙烯醚、0.7～1.2Wt％的去離子水、0.2～0.5Wt％的消泡劑、0.2～0.5Wt％的分散劑及0.1～0.3Wt％的抗氧劑。由于其主要原料為二乙二醇，制備工藝簡單，易于操作，成本低廉，有效提高碳化硅微粉的分散性和再分散性，確保了漿料的穩定性和持久性，且具有很好的潤滑效果，有效降低切割時的表面損失，提高切割良率。本發明適用于硅片切割工藝。
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“硅片切割液及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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