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具有高耐壓自限流性能的阻變型選通器及制備方法

966   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
本發明涉及一種具有高耐壓自限流性能的阻變型選通器及其制備方法，所述的阻變型選通器，結構包括從底部至頂部依次設置的襯底、底電極薄膜、功能層薄膜和頂電極薄膜，且所述底電極薄膜的面積大于所述功能層薄膜的面積；每層材料薄膜層之間沒有其他材料，相鄰薄膜層之間通過一定程度的相互擴散形成多級次功能層，使所述阻變型選通器在高電壓下仍保持低電流值，可有效抑制阻變器件集成陣列中的串擾電流；改善功能層薄膜在真空狀態下沉積得到的成分偏析問題，使高電阻狀態更穩定。使底電極薄膜與功能層薄膜之間形成一種特殊的材料界面效應，在大電壓下將通過該選通器的電流穩定在一個極低的固定值，形成自限流效應，省略外加鉗位電流。
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