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平面波導裝置的制造方法

1172   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
本發明提供了一種平面波導裝置的制造方法，包括以下步驟：a.在波導的表面上形成第一組膜層區段，該第一組膜層區段中的相鄰區段之間彼此隔開；b.使用掩膜對該第一組膜層區段進行曝光，以固化該第一組膜層區段的所需部分；c.去除該第一組膜層區段中未經固化的邊緣部分；d.在該第一組膜層區段中的至少部分相鄰區段之間形成第二組膜層區段；以及e.使用掩膜對該第二組膜層區段進行曝光，以固化該第二組膜層區段。
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聲明：
“平面波導裝置的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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