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集成標準CMOS工藝的電阻存儲器及其制備方法

836   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:09:02
本發明涉及微電子技術領域，具體是一種集成標準CMOS工藝的電阻存儲器及其制備方法，該方法包括：在常規CMOS工藝完成前段工藝至鎢栓塞形成后，沉積金屬層間介質層；之后將存儲陣列部分鎢栓塞上方的介質層打開，形成與鎢栓塞部分錯開的孔洞，露出一部分鎢栓塞；隨后生長金屬氧化物功能材料、電極材料、擴散阻擋層、仔晶銅以及電鍍銅，最后用化學機械拋光形成存儲單元。本發明方法可以實現突破常規光刻工藝的器件尺寸，且有助于固定電阻存儲器導電細絲的形成位置，增強器件的均一性。
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