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CaCu3Ti4O12薄膜的制備方法

840   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:05:02
一種CaCu3Ti4O12薄膜的制備方法，屬于功能材料技術領域。包括以下步驟：1)通過高分子輔助沉積法配制含鈣銅鈦的前驅液；2)將斜切的LaAlO3基片在800～1000℃下熱處理1～6小時，得到表面為臺階結構的基片；3)采用旋涂法將前驅液均勻涂覆于步驟2)處理后的基片表面，烘干，得到含鈣銅鈦的薄膜樣品；4)對上步得到的含鈣銅鈦的薄膜樣品熱處理，隨爐冷卻至室溫，得到CaCu3Ti4O12薄膜。本發明通過不同斜切角度的斜切基片調控CCTO薄膜的應力，使得制得的薄膜的介電損耗明顯降低；且方法簡單，成本低廉，具有良好的工藝可控性和重復性，有利于大規模批量化生產。
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