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利用等離子體激活電子倍增器的方法

881   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:03:02
本發明涉及一種利用等離子體激活電子倍增器的方法，屬于真空電子技術領域。本發明所述方法是利用等離子體的高反應活性清除電子倍增器表面的污染物，同時等離子體態的氧可以進入電子倍增器的功能材料內部，填補功能材料在大電子束流轟擊下形成的缺陷位，從而起到激活性能衰退或失效電子倍增器的作用；與常規的加熱退火處理工藝相比，本發明所述方法簡化了工藝過程，能夠實現電子倍增器功能的快速激活，而且電子倍增器功能的恢復效果更好。
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“利用等離子體激活電子倍增器的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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