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新型管狀ITO靶材的制備方法

799   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:59:02
本發明公開了一種新型管狀ITO靶材的制備方法，其特征在于：所述ITO粉末以銦錠和四氯化錫為原料，通過工序制備得到重量百分比In2O3:SnO2＝96:3、純度≥99.98％、粒度為0.7～1.5μm的ITO，所述ITO粉末通過化學共沉淀、脫水、煅燒及球磨的工序制備而成，通過化學共沉淀、脫水、煅燒及球磨等現有技術對原料進行處理得到ITO粉，再通過對ITO粉進行真空燒結、降溫制備得到ITO靶材，方法簡單，操作方便，便于推廣使用，從而在制備中不容易出現管狀ITO靶材組織的偏析現象，晶粒不是很微細均勻，純度也不是很高的問題，并且具有尺寸大型化制作、高密度化、符合多種領域的使用，這樣提高了管狀ITO靶材的領域使用，從而具有很好的市場競爭力度，不容易被市場所淘汰。
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聲明：
“新型管狀ITO靶材的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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