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從晶硅切割廢砂漿中提取高純度碳化硅的方法

951   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:58:54
一種從晶硅切割廢砂漿中提取高純度碳化硅的方法,1)將廢砂漿經濾袋過濾后引入到調配罐中,在調配罐中加入調配液,攪拌、存貯;2)將存貯后的廢砂漿送入1#離心機,得到一級濾液和一級濾砂;3)將一級濾砂送入攪拌罐,加水攪拌;4)在攪拌罐中加入調配液,攪拌、存貯,送入2#離心機,得二級濾液和二級濾砂;5)將二級濾砂送入攪拌罐,加水攪拌,回收硅粉;6)將一級濾液和二級濾液混合引入攪拌罐,加入均化劑攪拌,攪拌后送入壓濾機,濾液用于硅片切割生產線,濾餅裝袋進庫;7)將濾餅粉碎,送入微波處理設備;8)將微波處理后的濾餅放入烘箱中烘干,加入過量碳源,放入球磨罐中,球磨后得到混合粉體;9)在真空燒結設備中使硅與碳完全反應;10)在空氣中,將反應產物加熱,燒掉殘留碳,得到高純碳化硅。
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