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化學氣相沉積固態先驅體供給設備

1034   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:57:03
本發明屬于復合材料制造技術,涉及一種化學氣相沉積裝置的改進。它包括惰性氣體管路1、進氣管12、可編程控制器6,其特征在于,有一個封閉的加熱裝置8,混合罐10安裝在加熱裝置8的內腔中;有一個由載氣管路5、氣體質量流量控制器3、固態蒸發器9、壓力表4和連接管14組成的氣路,固態先驅體放置在固態蒸發器9內。本發明實現了化學氣相沉積過程的全自動控制;提高了生產效率和產品質量。
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