一種以β-sialon陶瓷-玻璃為中間層的氮化硅陶瓷接頭及其制備方法,它涉及一種氮化硅陶瓷接頭及其制備方法。本發明要解決氮化硅陶瓷連接過程中由于陶瓷母材與焊料物理化學相容性差導致接頭殘余應力大的問題。本發明氮化硅陶瓷接頭的中間層由β-sialon陶瓷相和玻璃相組成。方法:一、將Si3N4、AlN、SiO2、Al2O3和金屬元素M的氧化物經濕混、烘干得混合粉末;二、將混合粉末壓實夾在兩塊待接氮化硅陶瓷表面或用少量無水乙醇混合制成均勻糊狀后涂覆在兩塊對接的氮化硅陶瓷表面,置于石墨夾具,在熱壓爐中加熱并施加壓力,即得。本發明的氮化硅陶瓷接頭工藝簡單、成本低、效率高、重復性好。應用于化工、冶金等領域。
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