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用于太陽能電池片的減反射膜及其制造方法

841   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:45:03
本發明提供一種太陽能電池減反射膜及其制造方法。該太陽能電池減反射膜包括：第一氮化硅層，覆蓋于所述太陽能電池片的表面；第二氮化硅層，覆蓋于所述第一氮化硅層的上表面；以及第三氮化硅層，覆蓋于所述第二氮化硅層的上表面。本發明的三層氮化硅減反射膜可產生良好的鈍化效果，提高冶金多晶硅電池片的短路電流，降低反向漏電流，提升光電轉換效率；同時，本發明的制造方法通過采用間斷性沉積技術，即在兩層氮化硅薄膜的沉積之間增加一定的停頓時間，使得每層氮化硅薄膜的生長盡可能完整，制得的冶金多晶硅電池外觀顏色更加均勻，可將電池片表面的色差率從原來的30％降至5％左右，大大提高了冶金多晶硅電池的合格率。
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