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抬包精煉制備低磷硼多晶硅的方法

1045   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:34:17
本發明涉及一種抬包精煉制備低磷硼多晶硅的方法。其步驟為：1）將造渣劑裝入中頻爐石墨坩堝中加熱熔化，得到渣夜，保溫；2）在礦熱爐出硅液過程中，向抬包底部持續通入空氣和氧氣的混合氣體；3）待出硅液完成后，將中頻爐石墨坩堝中的渣液倒入抬包中，同時往抬包里通入氧化性混合氣體進行精煉；4）抬包精煉后，將硅渣一起倒入結晶器實現渣硅分離，得到提純后的低磷硼多晶硅原料。本發明具備充分利用和節約能源、除磷硼效果好，環境無污染等特點。
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