本發明屬于冶金熔煉領域,特別涉及一種電子束熔煉多晶硅除氧與鑄錠耦合的方法及設備,該方法首先將爐體和電子槍抽真空,啟動熔煉用電子槍對多晶硅料進行電子束熔煉,熔煉初步去除雜質氧;在輻射用電子槍作用下保持液態進一步除氧,最后通過水冷傳輸帶引導進入鑄錠裝置中,進行定向長晶,得到多晶硅鑄錠,該設備包括電子束熔煉組件和鑄錠耦合組件,鑄錠耦合組件包括鑄錠裝置,鑄錠裝置位于水冷傳輸帶下方,且水冷傳輸帶的導流口位于鑄錠裝置的石英坩堝中心的正上方,本發明首次提出了電子束熔煉除氧的工藝方法和用途,實現了電子束除氧的效果,同時結合鑄錠耦合,降低了鑄錠加熱原料所需的能耗,大大提高了生產效率。
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