本發明屬于濺射靶材技術領域，具體涉及一種平面銅靶材的制備方法及應用其的磁控濺射方法，步驟S1：制備高純無氧銅桿；步驟S2：連續擠壓所述無氧銅桿以形成坯料，并在擠壓過程中對所述坯料進行防氧化保護；步驟S3：待所述坯料冷卻至室溫后進行單道次低變形量拉拔操作，控制拉拔變形量為1.5％?3％，控制拉拔變形溫度在300℃?500℃；步驟S4：重復上述步驟S2和步驟S3至少兩次；步驟S5：對坯料進行矯直操作；步驟S6：對坯料進行機加工操作，制成銅靶材；

本發明公開了一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，該方法包括：一、準備粉末原料；二、混勻；三、烘干；四、梯度加熱、加壓SPS燒結；五、包覆熱軋及退火處理；六、機加工、校直、真空退火及清洗處理。本發明采用梯度加熱、加壓的SPS燒結工藝，不僅獲得了合金化完全、組織均勻致密的鋁鉻合金靶材坯料，極大縮短制備周期，大幅提高生產效率，有效保證了良好的合金化效果，還避免長時間燒結造成晶粒長大和氧含量增加的問題，結合包覆熱軋及退火工藝，進一步細化晶粒、提高組織均勻性，消除了SPS單軸壓力引起密度均勻性差的問題

本發明提供一種低密度ITO蒸鍍靶材的制備方法，包括以下步驟：一、根據成分配比要求，將氧化銦與氧化錫進行混合得到混合粉體，然后摻入造粒助劑，得到ITO漿料；二、將ITO漿料進行造粒處理，得到ITO造粒粉體；三、將ITO造粒粉體分成兩部分；四、將第一部分的ITO造粒粉體進行預燒，得到預燒粉體；五、將預燒粉體與第二部分的ITO造粒粉體混合，并進行預壓成型，得到ITO素坯；六、將ITO素坯放入脫脂爐中進行脫脂處理；七、將處理后的ITO素坯放入燒結爐內在常壓空氣氣氛中進行燒結處理。