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單晶爐坩堝連續加料方法及加料裝置與流程

875   編輯:中冶有色網   來源:浙江晶陽機電股份有限公司  
2023-10-20 16:12:40
1.本發明屬于單晶硅生產設備技術領域,具體涉及單晶爐坩堝連續加料方法及加料裝置。 背景技術: 2.單晶爐是多晶硅轉化為單晶硅工藝過程中的必備設備,單晶硅作為現代信息社會的關鍵支撐材料,是目前世界上最重要的單晶材料之一,它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料,也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料。 3.在使用單晶爐生產單晶硅的過程中,直拉單晶硅除了有生產流程長、工藝繁瑣的缺點外,還有坩堝小,而且不能連續加料等弱點。因此,每融化一坩堝的多晶硅料只能拉一根單晶棒。每拉一根單晶棒就要降一次溫,就得停一次爐,拆一次爐,清理一次熱場以及過濾系統等等。不僅浪費人力、浪費能源,而且嚴重影響生產效率,生產成本大,不利于單晶硅直拉爐的發展。 4.綜上所述,為解決現有的技術問題,本發明設計了結構簡單、無需使單晶爐降溫即可加料的單晶爐坩堝連續加料方法及加料裝置。 技術實現要素: 5.本發明為解決現有的技術問題,設計了結構簡單、無需使單晶爐降溫即可加料的單晶爐坩堝連續加料方法及加料裝置。 6.本發明的目的可通過以下技術方案來實現: 7.一種單晶爐坩堝連續加料方法,包括以下步驟: 8.s1、錐形閥使料倉的加料口處于關閉狀態,打開倉蓋,向料倉內添加原料; 9.s2、原料添加完成,關閉倉蓋; 10.s3、將出料連接口與單晶爐主體連接,將單晶爐內抽真空; 11.s4、滑軌使振動器向出料連接口移動,送料管伸入單晶爐內,接料斗與加料口對應; 12.s5、打開振動器,打開錐形閥,使原料從加料口落入接料斗并進入送料管; 13.s6、稱重傳感器檢測料倉重量,反饋加料進度; 14.s7、原料在送料管內振動前進,并從送料管的端口落入單晶爐內的坩堝內; 15.s8、運料機構送料彎成后,錐形閥關閉,振動器保持工作; 16.s9、當送料管內沒有原料后,振動器關閉,滑軌帶動振動器回退,送料管伸出單晶爐,完成加料。 17.一種基于單晶爐坩堝連續加料方法的單晶爐坩堝連續加料裝置,包括機架,包括: 18.料倉,所述料倉設置在機架上部,所述料倉上方設有進料口,所述料倉下方設有加料口,所述加料口處設有錐形閥; 19.運料機構,所述運料機構設置在機架下部,所述運料機構包括送料管、接料斗、振 動器、滑軌,所述滑軌與機架連接,所述振動器設置在滑軌上,所述送料管一端與振動器上方連接,所述接料斗
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