本發明公開了壓電驅動元件、多層無鉛壓電陶瓷及其制備方法,方法包括:KOH、NaOH混合并控制堿濃度為5~7mol/L,按1L混合堿溶液中加入18~22g的Nb2O3粉體形成混合原料,通過水熱合成鈣鈦礦相的KNN粉體;稱取KNN粉體、3-8%Wt的Li2CO3、5-10%Wt的Ta2O5和1-5%Wt的Sb2O3,加入到有機溶劑中混合球磨制備壓電陶瓷漿料,再制備成壓電陶瓷胚體膜并印刷銀鈀內電極;排膠后低溫共燒生成多層無鉛壓電陶瓷(Na0.5KxLi0.5-x)(Nb0.9TaySb0.1-y)O3,其中x=0.1~0.4,y=0.01~0.09。本制備方法工藝簡單,可實現低溫共燒,形成壓電性能好的壓電陶瓷,以該壓電陶瓷制備的多層的壓電驅動元件壓電常數高,實現低壓大位移驅動。
聲明:
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