合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術頻道 >

> 失效分析技術

> 光刻設備硅片承載臺、組裝方法及光刻設備

光刻設備硅片承載臺、組裝方法及光刻設備

1254   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 09:20:07
本發明提供一種光刻設備硅片承載臺、及其組裝方法和光刻設備,涉及光刻設備的技術領域。其中,光刻設備硅片承載臺,包括短行程模塊、轉接結構和橋接板組件,轉接結構與短行程模塊固定連接,轉接結構與橋接板組件可拆卸地固定連接。該光刻設備硅片承載臺,通過將橋接板組件與橋接板組件可拆卸的固定連接,當測量硅片臺和曝光硅片臺發生碰撞導致橋接板組件發生破壞,或橋接板組件的上表面的疏水涂層因時間或碰撞發生失效時,將轉接結構與橋接板組件拆開,更換發生損壞的橋接板組件。
登錄解鎖全文
聲明:
“光刻設備硅片承載臺、組裝方法及光刻設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
失效分析
全國熱門有色金屬技術推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

報名參會
更多+

報告下載

赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX