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異質材料表面絕緣結構激光加工系統及加工方法

1160   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 09:20:07
本發明提供一種異質材料表面絕緣結構激光加工系統及加工方法,主要解決異質材料絕緣結構存在加工質量不高、對加工材料產生損傷以及加工邊沿平整度較差,導致構件絕緣阻抗大幅降低和失效的問題。該異質材料表面絕緣結構激光加工系統包括飛秒激光器、空心電機、同軸視覺系統以及依次設置在飛秒激光器的激光輸出光路上的擴束鏡、第一反射鏡、徑向偏振片、第二反射鏡、第三反射鏡、楔形鏡、道威棱鏡、第四反射鏡、聚焦鏡;空心電機用于帶動道威棱鏡實現高速旋轉;同軸視覺系統用于實現加工區域的定位和觀測。該激光加工系統精度和穩定性高可抑制基底材料損傷,絕緣結構的邊沿形貌平整、一致性高。
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